[发明专利]微小金属矩形波导电化学制造方法在审
| 申请号： | 201610959510.0 | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN106654500A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 朱荻;曾永彬;房晓龙;王玉峰 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;G02B6/10 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种微小金属矩形波导电化学制造方法，属于微细、精密制造领域。利用双微尺度线电极对薄板工件进行微细电解线切割加工，得到特征尺寸在数十至数百微米间的矩形芯模。在芯模表面电镀一层金，其厚度为数十纳米至数微米。利用运动纳米粒子辅助精密电铸技术在电镀金的表面电铸一层较厚的电铸铜层，其厚度达到毫米级。利用微细电解线切割加工技术对电铸铜层进行整平修整，并加工出预先要求的轮廓。利用化学试剂选择性溶解芯模，从而得到内壁电镀金的微小矩形金属波导。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 金属 矩形波导 电化学 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微小金属矩形波导电化学制造方法，其特征在于包括以下步骤：步骤1、利用双微尺度线电极和纳秒脉冲电源对薄板工件进行微细电解线切割加工得到芯模；步骤2、在芯模的表面电镀一层金层，其厚度大于该波导传输的太赫兹波的趋肤效应深度，为数十纳米至数微米,芯模两端无镀层；步骤3、利用运动纳米粒子辅助精密电铸技术在电镀金层的表面电铸一层铜层，其厚度达到毫米级；步骤4、利用纳秒脉冲电源和微尺度线电极对电铸铜层进行整平修整，并控制芯模和微尺度线电极的相对运动轨迹，加工出预先要求的轮廓；步骤5、利用化学试剂选择性溶解芯模，从而得到内壁为电镀金层，外表面为电铸铜层的微小矩形金属波导。
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