[发明专利]一种抗粘附RF MEMS开关有效
| 申请号： | 201610959725.2 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN106602183B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 赵嘉昊;李沐华;尤政 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01P1/10 | 分类号： | H01P1/10;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗粘附RF MEMS开关，包括共面波导、锚区、扭转梁、第一驱动电极、第二驱动电极、第一抗粘附电极、第二抗粘附电极，所述锚区、扭转梁、第一驱动电极、第二驱动电极、第一抗粘附电极和第二抗粘附电极均设置在所述共面波导上，所述第一驱动电极和所述第一抗粘附电极均与所述扭转梁连接，所述第一驱动电极、所述扭转梁和所述第一抗粘附电极组成跷跷板结构。本发明具有如下优点：驱动电极之间抗粘附，且结构简单成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粘附 rf mems 开关 | ||
【主权项】：
一种抗粘附RF MEMS开关，其特征在于，包括共面波导、锚区、扭转梁、第一驱动电极、第二驱动电极、第一抗粘附电极和第二抗粘附电极，所述锚区、扭转梁、第一驱动电极、第二驱动电极、第一抗粘附电极和第二抗粘附电极均设置在所述共面波导上，所述第一驱动电极和所述第一抗粘附电极均与所述扭转梁连接，所述第一驱动电极、所述扭转梁和所述第一抗粘附电极组成跷跷板结构。
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