[发明专利]一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法有效
| 申请号： | 201610961474.1 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106451067B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 郝润豹;逯心红;尚飞 | 申请（专利权）人： | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/22 |
| 代理公司： | 11438 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人： | 邢雪红;乔彬<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 266555 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法。该方法包括：在晶圆表面形成脊结构；在晶元的表面涂覆第一光刻胶层，第一光刻胶层覆盖脊结构；在第一光刻胶层上涂覆第二光刻胶层；对脊结构上方的第一光刻胶层及第二光刻胶层进行曝光，对第二光刻胶层显影，使第一光刻胶层裸露；对裸露的第一光刻胶层进行显影；通过磁控溅射进行金属沉积形成沉积层；去除剩余的第一光刻胶层及第二光刻胶层，剥离沉积层。磁控溅射方法的离子束的方向性比较自由，则溅射粒子可以直接沉积在脊结构的侧壁上，相比较电子束蒸发设备，无需分别转动脊波导激光器，使脊波导激光器倾斜，进行两次沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 激光器 金属电极 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种脊波导激光器的金属电极层的制作方法，包括步骤：/n在晶圆表面形成倒梯形脊结构；/n在晶圆的表面涂覆第一光刻胶层，第一光刻胶层覆盖所述脊结构；/n在第一光刻胶层上涂覆第二光刻胶层；/n对脊结构上方的第一光刻胶层及第二光刻胶层进行曝光，并对第二光刻胶层显影，使第一光刻胶层裸露；/n对裸露的第一光刻胶层进行显影，去除裸露的第一光刻胶层，使第二光刻胶层的边缘相对于第一光刻胶层的边缘悬空，所述脊结构的两侧形成沟槽，所述脊结构两侧沟槽内的第一光刻胶层的表面低于所述脊结构的顶端端面；/n通过磁控溅射进行金属沉积，形成沉积层；/n去除剩余的第一光刻胶层及第二光刻胶层，剥离第一光刻胶层及第二光刻胶层上的沉积层。/n
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