[发明专利]一种耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜有效
申请号: | 201610962325.7 | 申请日: | 2016-10-28 |
公开(公告)号: | CN106646701B | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 张晓岚;籍龙占;谢丑相;王国昌;吴历清 | 申请(专利权)人: | 杭州朗旭新材料科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/08 | 分类号: | G02B5/08 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 万尾甜;韩介梅 |
地址: | 310051 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,该薄膜柔性反射镜包括柔性基体衬底和沉积在其表面上的功能薄膜堆积层,其中的功能薄膜堆积层包含光学反射膜层、透明过渡层和高反射率保护膜层。本发明的高效薄膜柔性反射镜不仅质轻且具柔性,而且反射率高、表面耐用性好,耐侯性好,使用寿命延长,与现有的玻璃平面聚光反射镜相比具有极大的竞争优势。 | ||
搜索关键词: | 柔性反射镜 高效薄膜 耐用性 功能薄膜 堆积层 光学反射膜层 使用寿命延长 聚光反射镜 透明过渡层 薄膜柔性 保护膜层 玻璃平面 高反射率 竞争优势 柔性基体 反射镜 反射率 耐侯性 衬底 质轻 沉积 | ||
【主权项】:
1.一种耐用性优异的CrN/AlPO4高效薄膜柔性反射镜,其特征在于,包括:柔性基体衬底及设置于其表面上的功能薄膜堆积层;所述的功能薄膜堆积层包括:光学反射膜层,设于柔性基体衬底表面,该层为铝或银中的任一种金属或二者的复合物,其在可见光波段反射率不低于88%;保护膜层,所述的保护膜层包含至少一种铬的氮化物;透明过渡层,设置于光学反射膜层和保护膜层之间,所述的透明过渡层采用非晶态的磷酸铝,其中铝磷原子比在从1:1到1:3的范围内;在所述的保护膜层表面还设有一层透明磷酸铝层。
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