[发明专利]金属掩模材料和金属掩模有效
| 申请号： | 201610963957.5 | 申请日： | 2016-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN106917063B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 近藤祐幸 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭煜;鲁炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够提高蚀刻加工精度、且能够以良好的精度检测自身缺陷的金属掩模材料和金属掩模。金属掩模材料，其由Fe‑Ni系合金的轧制板形成，所述Fe‑Ni系合金的轧制板包含总计30~45质量%的Ni和Co，其中含有0~6质量%的Co，且剩余部分由Fe和无法避免的杂质构成，厚度t大于0.08mm，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS‑B0601测定的算术平均粗糙度Ra为0.01~0.20μm，并且，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS‑Z8741测定的60度光泽度G60为200~600。 | ||
| 搜索关键词： | 金属掩模 轧制垂直方向 轧制平行方向 轧制板 合金 算术平均粗糙度 精度检测 蚀刻加工 光泽度 总计 | ||
【主权项】：
1.金属掩模材料，其由Fe‑Ni系合金的轧制板形成，所述Fe‑Ni系合金的轧制板包含总计30~45质量%的Ni和Co，其中含有0~6质量%的Co，且剩余部分由Fe和无法避免的杂质构成，厚度t大于0.08mm且为0.25mm以下，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS‑B0601测定的算术平均粗糙度Ra为0.01~0.20μm，并且，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS‑Z8741测定的60度光泽度G60为200~600。
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