[发明专利]一种薄膜晶体管及制造方法和显示器面板

摘要

一种薄膜晶体管，包括：衬底和设置在所述衬底上的由金属氧化物构成的有源层，所述有源层与栅极叠层相毗邻，所述有源层部分区域上覆盖有电极，所述电极与所述有源层之间还包括绝缘层，所述有源层在所述电极覆盖下的区域分别形成源区、漏区，非所述电极覆盖下的区域形成沟道区。本发明还涉及薄膜晶体管制造方法和具有上述薄膜晶体管的显示器面板。上述薄膜晶体管既具有传统背沟道刻蚀结构晶体管的小尺寸，又具有比传统刻蚀阻挡层结构晶体管更优越的性能，包括低的源漏寄生电阻、更好的开态和关态性能、增强的可靠性。具有上述薄膜晶体管的显示器面板兼具高性能、高可靠性、低成本等优点，更符合显示器面板的发展趋势。

主权项

1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：衬底和设置在所述衬底上的由金属氧化物构成的有源层；所述有源层与栅极叠层相毗邻，所述有源层部分区域上覆盖有电极，所述电极的厚度大于含氧元素的物质在所述电极中的扩散长度，所述电极与所述有源层之间还包括绝缘层,所述绝缘层上形成有深至所述有源层的通孔，所述通孔内淀积有导体，从而由所述通孔中引出所述电极，所述电极分别与所述有源层的部分区域相电连接，所述绝缘层在非所述电极覆盖下的部分为第一绝缘层，所述第一绝缘层的厚度小于所述含氧元素的物质在所述第一绝缘层中的扩散长度；经退火处理，所述有源层在所述电极覆盖下的区域分别形成源区和漏区，非所述电极覆盖下的区域形成沟道区；所述源区、所述漏区与所述沟道区相互连接，且分别位于所述沟道区的两端，所述沟道区与所述栅极叠层相毗邻，所述源区、所述漏区与所述沟道区之间的连接面自对准于所述电极在所述有源层投影面积之内的边界的铅垂面；所述源区、所述漏区的电阻率小于所述沟道区的电阻率。