[发明专利]三层微桥结构以及微测辐射热计

摘要

本发明涉及红外探测，提供一种三层微桥结构，包括衬底以及桥面层，于衬底与桥面层之间设置有第一桥腿层与第二桥腿层，第一桥腿层通过两根第一桥腿柱分别连接桥面层与衬底，第二桥腿层通过两根第二桥腿柱分别连接桥面层与衬底，且第一桥腿层朝向桥面层的表面以及第二桥腿层朝向第一桥腿层的表面均设置有反射层，第二桥腿层靠近第一桥腿层且正对第一桥腿层的间隙；还提供一种微测辐射热计，包括上述微桥结构。本发明中通过第一桥腿层与第二桥腿层形成三层微桥结构，可以将透过桥面层的红外波全反射至桥面层再次吸收，不但可以增强桥面层的红外吸收率，而且使得微桥结构的桥腿比较长，降低其热导，可以大幅提高微测辐射热计的性能。

主权项

1.一种三层微桥结构，包括具有读出电路的衬底以及位于所述衬底正上方的桥面层，其特征在于：于所述衬底与所述桥面层之间设置有第一桥腿层与第二桥腿层，所述第一桥腿层与所述第二桥腿层沿所述桥面层至所述衬底的方向依次设置，所述第一桥腿层通过两根第一桥腿柱分别连接所述桥面层与所述衬底，所述第二桥腿层通过两根第二桥腿柱分别连接所述桥面层与所述衬底，且所述第一桥腿层朝向所述桥面层的表面以及所述第二桥腿层朝向所述第一桥腿层的表面均设置有反射层，所述第二桥腿层靠近所述第一桥腿层且正对所述第一桥腿层的间隙，所述第一桥腿层与所述桥面层之间形成第一真空谐振腔，所述第二桥腿层与所述桥面层之间形成第二真空谐振腔。