[发明专利]无芯轴靶材喷涂设备

摘要

本发明提供一种无芯轴靶材喷涂设备，包括底座，底座上设置有动力头基座和尾座底座，动力头基座和尾座底座分别设置在底座的两端，动力头基座和尾座底座上均设置有固定装置，固定装置上设置有旋转接头，通过固定装置对靶材进行固定，旋转接头带动靶材转动，动力头基座内部设置有传动轴，动力头基座后部设置有皮带轮，皮带轮通过传动轴与旋转接头连接，动力头基座上设置有进水口，尾座底座上的旋转接头上设置有出水口。采用无芯轴安装方式，使用旋转接头做为支撑，尾座有气缸顶紧密封，水路从靶材一端进，一端出，同时可以冷却动力箱部分，提高靶材喷涂工作效率，通过进水口和出水口对靶材进行降温，在喷涂时保证靶材温度，提高工作效率。

主权项

一种无芯轴靶材喷涂设备，包括底座（1），所述底座（1）上设置有动力头基座（2）和尾座底座（3），所述动力头基座（2）和尾座底座（3）分别设置在底座（1）的两端，其特征在于：所述动力头基座（2）和尾座底座（3）上均设置有固定装置（4），所述固定装置（4）上设置有旋转接头（5），通过固定装置（4）对靶材进行固定，旋转接头（5）带动靶材转动，所述动力头基座（2）内部设置有传动轴（6），所述动力头基座（2）后部设置有皮带轮（7），所述皮带轮（7）通过传动轴（6）与旋转接头（5）连接，所述动力头基座（2）上设置有进水口（8），所述尾座底座（3）上的旋转接头（5）上设置有出水口（9）。