[发明专利]半导体功率元件有效
申请号: | 201610969377.7 | 申请日: | 2016-10-27 |
公开(公告)号: | CN107068748B | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 林奕志 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/06;H01L29/205;H01L29/423 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种半导体功率元件,包含:基板;主动区,具有凹陷区,位于基板上方;第一导电型半导体层,位于凹陷区上方,不与凹陷区相互重叠;栅极,位于该主动区上方,部分设置于凹陷区中;一介电层,位于主动区与栅极之间;以及二维电子气,形成于主动区之中。 | ||
搜索关键词: | 半导体 功率 元件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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