[发明专利]热化学气相沉积分离官能化的方法、产品和涂层在审
| 申请号： | 201610969416.3 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN106676497A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | M·袁;P·H·西尔维斯;D·A·史密斯;J·B·马特泽拉 | 申请（专利权）人： | 西尔科特克公司 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司11285 | 代理人： | 钟守期;杨月 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热化学气相沉积分离官能化的方法，涂层和产品。所述热化学气相沉积分离官能化的方法包括：将制品定位在封闭室内，在第一温度范围内官能化所述制品第一段时间，然后在第二温度范围内进一步官能化所述制品第二段时间。热化学气相沉积分离官能化产品的包括：在第一温度范围内官能化第一段时间的官能作用，和在第二温度范围内进一步官能化第二段时间的进一步官能作用。 | ||
| 搜索关键词： | 热化学 沉积 分离 官能 方法 产品 涂层 | ||
【主权项】：
一种热化学气相沉积分离官能化的方法，包括：将制品定位在封闭室内；在第一温度范围内官能化该制品第一段时间；然后在第二温度范围内进一步官能化该制品第二段时间。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
