[发明专利]机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台在审
| 申请号： | 201610969556.0 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN108015665A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 孙鹏;夏林华;赵雪峰;田国军;周维娜 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34;B24B49/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台，设置有噪声传感器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元以及控制单元，噪声传感器实时采集机台运行的噪音的音频信号，数模转换单元将所述音频信号转化为数字信号，存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和波形图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常，反馈单元向所述控制单元反馈异常的音频信号，控制单元根据异常的音频信号进行异常处理，从而对机台异常进行实时有效的监测，及时侦测机台发生的异常状况，从而提高了机台的研磨效率。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 研磨 机台 异常 侦测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，包括：噪声传感器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元以及控制单元；其中，所述噪声传感器安装于所述机械研磨机台上，用于实时采集机台运行的噪音的音频信号；所述数模转换单元将所述音频信号转化为数字信号；所述存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常；所述反馈单元用于向所述控制单元反馈异常的音频信号；所述控制单元根据异常的音频信号进行异常处理。
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