[发明专利]一种热压法制备高纯微观组织可控的钼铌合金靶材方法在审
| 申请号： | 201610970257.9 | 申请日： | 2016-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN106567047A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 陆有军;高杰;侯俊峰 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C27/04;B22F3/14 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司11401 | 代理人： | 刘震 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种热压法制备高纯微观组织可控的钼铌合金靶材方法，通过热压方法制备高致密的钼铌合金溅射靶材，致密度可达到99％以上，采用氮化硼和石墨的组合模具可以有效阻止渗碳现象，获得高致密高纯的微观组织可控的钼铌合金靶材，降低了烧结温度，降低成本。同时，克服了粉末冶金工艺致密度低的现象，熔炼铸造的组织粗大、成分不均匀，热等静压成本过高的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热压 法制 高纯 微观 组织 可控 合金 方法 | ||
【主权项】：
一种热压法制备高纯微观组织可控的钼铌合金靶材方法，其特征在于，所述方法通过对氮化硼和石墨的组合模具热压，制备微观组织可控的钼铌合金靶材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方民族大学，未经北方民族大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610970257.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：氧化铌溅射靶材的制备方法
- 下一篇：一种大型高纯钼合金旋转靶材的制造方法
- 同类专利
- 专利分类
