[发明专利]一种对化合物半导体器件生长程序的文件转换方法

摘要

一种对化合物半导体器件生长程序的文件转换方法，按照语法规则分别读取化合物半导体器件生长程序文件与各层材料参数文件，同时结合预设的工艺文件与数值仿真分析控制参数生成适合数值仿真分析软件的专属文件，极大地提高了器件结构文件生成的便利性、可靠性、可维护性，同时使得原位分析得以进行，可以应用在各种化合物半导体器件结构的数值模拟与分析中，诸如多结太阳电池、微波器件、光电探测器、激光器等。

主权项

1.一种对化合物半导体器件生长程序的文件转换方法，其特征在于，包含以下步骤：步骤S1、建立化合物半导体器件生长程序所涉及的各个半导体材料层的参数库，以参数文件语法规则存储各层半导体材料的参数库形成各个半导体材料层的参数文件，对参数文件编号形成参数库索引文件；步骤S2、建立化合物半导体器件生长程序中不同过程的读取语法规则，通过该读取语法规则分析化合物半导体器件生长程序中材料生长层的参数状态，生成各个半导体材料层的特征说明对象，搜索参数库索引文件并将参数文件读取到器件结构描述文件中；步骤S3、读取并分析工艺文件，根据工艺文件信息确定外界施加工作条件的方向，将工艺文件中的器件几何特征与工作条件直接附加在器件结构描述文件中；步骤S4、读取并分析器件结构附加说明文件，根据附加说明文件特征确定各附加物理对象的位置、特征，并将相关特征按照器件结构附加说明文件的语法规则附加在器件结构描述文件中；步骤S5、读取并分析器件结构数值特征说明文件，根据数值特征说明文件特征确定数值分析的控制参数，并将相关特征按照器件结构描述文件的语法规则附加在器件结构描述文件中；步骤S6、确定所读取的器件结构描述文件的输出语法规则，将器件结构描述文件输出成数值仿真分析软件容易读取的文件。