[发明专利]利用瞬态载流子光栅技术的信号测量方法在审

专利信息
申请号: 201610970691.7 申请日: 2016-11-07
公开(公告)号: CN106324471A 公开(公告)日: 2017-01-11
发明(设计)人: 黄竞;刘晓平 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 南京知识律师事务所32207 代理人: 李媛媛
地址: 210093 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明为一种利用瞬态载流子光栅技术的信号测量方法,用于光学通信领域。该方法利用脉冲激光光源在半导体材料的表面形成明暗相间的干涉或者衍射条纹,产生瞬态载流子光栅,采集经过光栅的衍射光实现信号的测量。本发明的方法实现了对半导体器件任何部位的信号采集与测量,该过程无需将受测部位单独拿出,同时不会对器件造成损伤。此外,利用载流子的迁移与复合所导致载流子光栅会不断变化直至平衡的特性,通过测量信号光受载流子光栅的影响可以计算出材料的载流子迁移率与载流子寿命。
搜索关键词: 利用 瞬态 载流子 光栅 技术 信号 测量方法
【主权项】:
利用瞬态载流子光栅技术的信号测量方法,其特征在于,利用脉冲激光光源在半导体材料的表面形成明暗相间的条纹,产生瞬态载流子光栅,采集经过光栅的衍射光实现信号的测量。
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