[发明专利]一种快速收集阈值电压分布的方法有效
| 申请号： | 201610971021.7 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN106653095B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 席与凌;李强 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;张磊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速收集阈值电压分布的方法，通过将传统采用统一电压扫描步长的一次扫描方式优化为采用不同电压扫描步长的二次扫描方式，第一次扫描采用较大的步长进行，根据存储单元失效数目，大致判断阈值电压分布范围，当出现第一个存储单元失效时，可依此判断阈值电压分布的开始值；当存储单元全部失效时，可依此判断阈值电压分布的结束值，确定阈值电压分布的大致范围后，采用较小的步长进行第二次扫描，从而可大大缩短收集阈值电压分布所需的时间，也保证了测试的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 收集 阈值 电压 分布 方法 | ||
【主权项】：
一种快速收集阈值电压分布的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S01：定义扫描时的电压扫描范围及电压扫描步长；步骤S02：从电压扫描范围的起点开始，以多倍电压扫描步长对存储单元进行第一次扫描，记录首次出现功能读取失效的存储单元时的第一电压值，以及全部存储单元出现功能读取失效时的第二电压值；步骤S03：根据第一次扫描的结果，确定存储单元的阈值电压理论分布范围；步骤S04：从阈值电压理论分布范围的起点开始，以单倍电压扫描步长对存储单元进行第二次扫描，记录首次出现功能读取失效的存储单元时的第三电压值，以及全部存储单元出现功能读取失效时的第四电压值；步骤S05：根据第二次扫描结果，计算出存储单元的阈值电压实际分布范围。
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