[发明专利]光动量激励纳米梁纳微颗粒质量测量装置与方法有效
| 申请号： | 201610971404.4 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106525669B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 刘灿昌;刘文晓;周长城;马驰骋;单越;程相孟;姜瑞瑞 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | G01N15/00 | 分类号： | G01N15/00;G01N15/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东省淄博*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光动量激励纳米梁质量测量装置，包括类正弦光动量激励发生装置和微质量检测装置，上激光器和下激光器的单色光分别照射上圆盘和下圆盘通光孔，驱动电动机带动轴旋转，可以产生类似正弦分布光动量激励，激励纳米梁振动，纳米梁在交变光动量激励作用下产生受迫振动，粘贴于纳米梁根部的电阻层电阻阻值发生变化，利用惠斯通电桥电路可以将该信号输出，经信号放大器放大后，可以进行频谱分析，得到振动时域和频域振动信息图像，得到振动幅值和振动频率等振动参数。改变光动量激励发生装置驱动电机转速，光动量激励频率随着发生变化，纳米梁共振时，输出电流信号值最大，测量电压变化峰值可以检测纳米梁的共振振动频率，通过计算得到纳米梁末端粘附的附加质量的大小，达到测量纳微颗粒质量的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米梁 动量 激励发生装置 质量测量装置 微颗粒 惠斯通电桥电路 共振振动频率 驱动电动机 微质量检测 信号放大器 测量电压 激励频率 频谱分析 驱动电机 上激光器 受迫振动 输出电流 信号输出 振动参数 振动频率 振动信息 正弦分布 激光器 带动轴 单色光 电阻层 上圆盘 通光孔 下圆盘 粘附的 电阻 共振 和频 交变 时域 正弦 粘贴 放大 照射 测量 图像 检测 | ||
【主权项】：
1.一种光动量激励纳米梁质量测量装置，包括类正弦光动量激励(19)发生装置和微质量检测装置；所述光动量激励(19)发生装置由上至下依次为固定端(1)，上轴承(2)，轴(7)，上圆盘(3)，下圆盘(4)，下轴承(9)和驱动电动机(8)，上激光器(17)位于上圆盘(3)上方、下激光器(6)位于下圆盘(4)下方，上圆盘(3)和下圆盘(4)固定在轴(7)中间位置，轴(7)的上端和下端分别安装一个轴承，轴(7)下端铰接一个驱动电动机(8)，驱动电动机(8)带动轴(7)旋转；上圆盘(3)和下圆盘(4)半径均为12mm，上圆盘(3)和下圆盘(4)盘面沿着距离轴心等距离开等面积正方形的通光孔(18)，正方形的通光孔(18)边长为5μm，边长远大于光的波长，以半径为10mm的圆周线为中心线布置，相邻两通光孔(18)间距离相等，相邻两个通光孔(18)间距离为通光孔(18)宽度的四倍，上圆盘和下圆盘相邻两通光孔间距离为通光孔宽度的两倍；上激光器(17)和下激光器(6)固定在底座(11)上，当上激光器(17)和下激光器(6)的单色光(10)分别照射通光孔(18)，驱动电动机(8)带动轴(7)旋转，可以产生类似正弦分布光动量激励(19)，激励纳米梁振动。
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