[发明专利]一种双层排气管道及其应用在审
| 申请号： | 201610971593.5 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN106369241A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 何丹农;尹桂林;卢静;金彩虹 | 申请（专利权）人： | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | F16L53/00 | 分类号： | F16L53/00;F16L9/18;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海东方易知识产权事务所31121 | 代理人： | 唐莉莎 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双层排气管，包括内层管1，外层管2，与外层管连通的冷却循环水接头3，与内层管连接的粗管4。其内层管1，上部与真空反应腔体内管道连接。其外层管2，下部与内层管1连接，上部与ALD的真空腔外壁连接在一起，形成中空结构。其冷却水接头3，一端连通外层管2，与内外层管间中空结构形成通路，另一端用于连接冷却循环水。其粗管4内径与内层管外径相同，且上部与内层管连接，下部作为连接后端真空抽气管道的接口。该排气管一方面连接真空反应腔与真空抽气管道，确保真空的获得；同时通过双层结构设计，冷却水的使用，确保了设备适宜的工作环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 排气 管道 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种双层排气管，其特征在于，包括内层管（1），外层管（2），与外层管连通的冷却循环水接头（3），与内层管连接的粗管（4）。
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