[发明专利]曝光装置用曝光头及曝光装置用投影光学系统有效
| 申请号： | 201610971760.6 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106873311B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 奥山隆志 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;金玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供曝光装置用曝光头及曝光装置用投影光学系统，其能够在保持图案像的清晰度的同时，提高吞吐量。在曝光装置中，具备分别由分割镜和引导镜构成的平行平面的组即6个反射镜对的图像分割光学系统(30)将来自DMD(22)的图案像按照DMD(22)的分割区域(DM1～DM6)而分割成6个，以使6个分割图案像(DA1～DA6)沿着主扫描方向X、副扫描方向Y而彼此分开的方式移动投影位置。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
一种曝光装置用曝光头，其特征在于，其包括：光调制元件阵列，其将多个光调制元件进行二维排列而成；及投影光学系统，其使所述光调制元件阵列所反射的光在被描绘体的曝光面成像，所述投影光学系统具备：第1光学系统，其使来自所述光调制元件阵列的图案像的光在第1成像面成像；图像分割光学系统，其具备多个反射镜对，该多个反射镜对按照分割区域分割形成于所述第1成像面的图案像，形成多个分割图案像；及第2光学系统，其使所述多个分割图案像的光在所述曝光面成像，所述多个反射镜对分别具有：分割镜，其以与第1成像面交叉的方式配置；和引导镜，其与所述分割镜平行，且将来自所述分割镜的光导向所述第2光学系统，多个分割镜相对于第1成像面分别倾斜，使得多个分割图案像沿着主扫描方向及副扫描方向彼此分开地投影。
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