[发明专利]一种氮化硅陶瓷球的加工方法

摘要

本发明涉及一种氮化硅陶瓷球的加工方法。该方法包括毛坯找圆、时效处理、细磨、终磨、100％外观分选、精研一、精研二等步骤。采用本发明加工的陶瓷球，效率高、成本低、精度高，表面粗糙度Ra可达2～4nm，球形误差可达0.04～0.06um，球批直径变动量可控制在0.1um内，产品各项性能指标均符合GB/T308.2‑2010/ISO3290‑22008《滚动轴承球第2部分陶瓷球》标准要求的G5及G3级标准要求。

主权项

一种氮化硅陶瓷球的加工方法，该方法包括以下步骤：1)毛坯找圆：将氮化硅材质毛坯球按照工艺装球量装入第一研球机，然后加入磨削介质进行加工；其中所述第一研球机的上板为耐磨铸铁材质铸铁板，所述第一研球机的下板采用粒度为60～140#、规格为Φ800×Φ360、厚度为7‑8mm的高压压制成型的整型混合粒度金刚石平板或90～120°的高压压制成型的V型沟槽整型混合粒度金刚石板加工；2)时效处理：将步骤1)得到的陶瓷球，在烘干炉内重新加热并保温，然后随炉冷却至室温；3)细磨：将步骤2)得到的陶瓷球装入第二研球机，然后加入磨削介质进行加工；其中所述第二研球机的上板为耐磨铸铁材质铸铁板，所述第二研球机的下板采用粒度为140～280#、规格为Φ800×Φ360，厚度为7‑8mm的高压压制成型的整型混合粒度金刚石平板或采用90～120°的高压压制成型的V型沟槽整型混合粒度金刚石板加工；4)终磨：自步骤3)得到的陶瓷球中选择球公称直径为D+0.08、圆度0.5μm以内和表面无明显加工缺陷的陶瓷球，将其装入第三研球机，然后加入磨削介质进行加工；其中所述第三研球机的上板为耐磨铸铁材质铸铁板，所述第三研球机的下板采用粒度为320～500#、规格为Φ800×Φ360，厚度为7‑8mm的高压压制成型的整型混合粒度金刚石平板或采用90～120°的高压压制成型的V型沟槽整型混合粒度金刚石板加工；5)100％外观分选：将步骤4)得到的陶瓷球经过水剂清洗液清洗后进行100％外观分选；6)精研一：将步骤5)得到的陶瓷球经超声波清洗，装入第四研球机，然后加入磨削介质进行加工；其中所述第四研球机的上板为耐磨铸铁材质铸铁板，所述第四研球机的下板采用粒度为700～1200#、规格为Φ800×Φ360，厚度为7‑8mm的高压压制成型的整型混合粒度金刚石平板或采用90～120°的高压压制成型的V型沟槽整型混合粒度金刚石板加工；7)精研二：自步骤6)得到的陶瓷球中选择振动值为34dB以内、表面外观无明显划条擦伤等加工缺陷的陶瓷球，将其超声波清洗后，再经过航空煤油清洗，目测表面无杂质等污物后，装入第五研球机，然后加入磨削介质及磨料进行加工；其中所述第五研球机的上、下板均采用耐磨铸铁材质铸铁板加工，且在下板板面根据不同的加工规格车制以板的中心为圆心、与所加工规格相对应的沟间距及深度的90°V型沟槽的同心圆。