[发明专利]一种降低多晶硅晶锭头部碳含量的排气装置

摘要

本发明涉及一种降低多晶硅晶锭头部碳含量的排气装置，包括隔热笼，隔热笼顶部设有顶板，顶板上设有排气管组件，排气管组件包括主排气管、第一连接管、第二连接管和OT连接管，主排气管包括主通气管、环扣和伸缩管，第一连接管包括一级管、二级管和套管，第一连接管和第二连接管与主排气管之间均设有直角弯头，两个第一连接管与主排气管之间设有三通弯头，第一连接管和第二连接管之间设有聚气盒，聚气盒包括盒体和盒盖，盒盖上设有若干定位孔，定位孔内设有固定螺栓；本发明能够很好的将晶锭上部的碳杂质排除，解决原来只能依靠侧部排气排杂、二期排杂效果差的情况。

主权项

1.一种降低多晶硅晶锭头部碳含量的排气装置，包括隔热笼，所述隔热笼顶部设有顶板，所述顶板上设有排气管组件，其特征为，所述排气管组件包括主排气管、第一连接管、第二连接管和OT连接管，所述主排气管包括主通气管、环扣和伸缩管，所述主通气管底部设有法兰，所述伸缩管和环扣内壁均与主通气管外壁配合，所述第一连接管有两个，所述第一连接管包括一级管、二级管和套管；所述第一连接管和第二连接管与主排气管之间均设有直角弯头，两个第一连接管与主排气管之间设有三通弯头，所述第一连接管和第二连接管之间设有聚气盒，所述一级管和二级管端部与套管内壁之间、第一连接管和第二连接管与直角弯头之间、第二连接管与聚气盒之间均设有螺纹配合；所述聚气盒包括盒体和盒盖，所述盒盖上设有若干定位孔，所述定位孔内设有固定螺栓，所述固定螺栓上设有配合螺母，所述OT连接管底部与盒盖相连。