[发明专利]一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法有效
| 申请号： | 201610982564.9 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN106521597B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 谢广文;刘腾宇;王桂雪;颜双;孙丹丹;张月 | 申请（专利权）人： | 青岛科技大学 |
| 主分类号： | C25D9/06 | 分类号： | C25D9/06;C25D11/26 |
| 代理公司： | 青岛中天汇智知识产权代理有限公司 37241 | 代理人： | 郝团代 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法，包括下列顺序步骤：(1)将金属钛片在室温下进行酸洗；(2)将酸洗后钛片用去离子水清洗干净，以金相砂纸打磨至表面呈金属光泽，分别用去离子水、无水乙醇、丙酮超声清洗，经去离子水清洗后干燥备用；(3)将上述钛片浸入到含NH4F、去离子水的乙二醇溶液中，以钛片为阳极，铂电极为阴极，室温下施加直流电进行阳极氧化；(4)以阳极氧化后钛片为阳极，铂电极为阴极，Sr(NO3)2溶液为电解液，室温下施加直流电进行反应；(5)电化学反应完成后，将样品取出，用去离子水清洗干净，再经热处理后，得到钛酸锶SrTiO3薄膜。该方法简单，钛酸锶薄膜的厚度，结构易于控制，且可以实现大面积钛酸锶薄膜的批量制备。 | ||
| 搜索关键词： | 去离子水 钛片 清洗 薄膜 阴极 直流电 制备钛酸锶 钛酸锶薄膜 阳极 电化学法 阳极氧化 酸洗 施加 电化学反应 乙二醇溶液 热处理 浸入 丙酮超声 金属光泽 金属钛片 金相砂纸 批量制备 顺序步骤 无水乙醇 电解液 钛酸锶 打磨 备用 取出 | ||
【主权项】：
一种电化学法制备钛酸锶薄膜的方法，包括下列顺序步骤：(1)将厚度为0.01～1mm的纯度为99.0％～99.99％金属钛片，室温下进行酸洗，酸洗液的体积比为HF：HNO3：H2O＝1:4:5，酸洗时间10～30min；(2)将酸洗后的钛片用去离子水清洗干净，依次以1500、2000目的金相砂纸打磨至表面呈金属光泽，再分别用去离子水、无水乙醇、丙酮超声清洗，最后经去离子水清洗后干燥备用；(3)将上述钛片浸入到含NH4F 0.1～1wt％，含去离子水1～10wt％的乙二醇溶液中，以钛片为阳极，铂电极为阴极，室温下施加60V直流电进行阳极氧化10～60min；(4)以阳极氧化后的钛片为阳极，铂电极为阴极，1～10mmol/L的Sr(NO3)2溶液为电解液，室温下施加40～80V直流电，反应时间为10～60min；(5)电化学反应完成后，将样品取出，用去离子水清洗干净，再经300～400℃，1～2h热处理后，得到钛酸锶SrTiO3薄膜。
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