[发明专利]多路光刻胶保温装置有效
| 申请号： | 201610983873.8 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN108062004B | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 任楷 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 汪海 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体光刻涂胶设备领域，具体地说是一种多路光刻胶保温装置，包括依次连接的胶路汇集块、保温水循环块、保温套管组件、保温水连接块、保温水换向块和胶路分离块，其中保温套管组件内设有外层通道和内层通道，保温水循环块上设有进水流道和出水流道，所述进水流道与所述外层通道相通，所述出水流道与所述内层通道相通，所述外层通道内的保温水经保温水连接块和保温水换向块上的出水孔流入胶路分离块中，再经保温水换向块上的回水孔流入所述内层通道中，光刻胶管经胶路汇集块汇集进入到所述内层通道中，并在胶路分离块内分离与不同的光刻胶喷嘴相连。本发明结构简单，占用体积小，能够满足多路光刻胶的保温要求。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 保温 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多路光刻胶保温装置，其特征在于：包括依次连接的胶路汇集块(2)、保温水循环块(4)、保温套管组件、保温水连接块(11)、保温水换向块(13)和胶路分离块(15)，所述保温套管组件内设有外层通道和内层通道，所述保温水循环块(4)上设有进水流道和出水流道(20)，所述进水流道与保温套管组件内的外层通道相通，所述出水流道(20)与保温套管组件内的内层通道相通，在所述保温水换向块(13)上设有出水孔(22)和回水孔(21)，在所述胶路分离块(15)内设有回水空间(23)，由保温套管组件的外层通道流出的保温水流入所述保温水连接块(11)中，并经所述保温水换向块(13)上的出水孔(22)流入胶路分离块(15)内的回水空间(23)中，所述回水空间(23)中的保温水经保温水换向块(13)上的回水孔(21)流入保温套管组件的内层通道中，待保温的各路光刻胶管(9)汇集于所述胶路汇集块(2)中并由所述保温水循环块(4)内的出水流道(20)穿过进入到保温套管组件内的内层通道中，在所述胶路分离块(15)内设有光刻胶喷嘴(17)，由所述保温套管组件的内层通道穿出的各路光刻胶管(9)在所述胶路分离块(15)内分离并分别与不同的光刻胶喷嘴(17)相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司，未经沈阳芯源微电子设备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610983873.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型远红外负离子功能面料的加工工艺
- 下一篇：一种教室环境参数检测装置
