[发明专利]用于制备燃料电池金属双极板非晶碳膜磁控溅射连续线

摘要

本发明涉及一种用于制备燃料电池金属双极板非晶碳膜磁控溅射连续线，包括：多腔室系统：包括依次串联并组成整体的四个腔室：清洗加热腔室、第一镀膜腔室、第二镀膜腔室和后续处理腔室，各个腔室之间相互贯通；工件架：包括至少一个用于固定安置待处理金属双极板的金属双极板挂具；传送系统：包括用于将所述工件架依次送入/送出所述腔室的传送机构；抽气系统：包括独立设置在各个腔室的抽气机构，用于控制各个腔室的真空度；可开闭的隔离阀系统：设置在每相邻的两个腔室之间的过渡部分，并与所述腔室密封配合。与现有技术相比，本发明制备金属双极板非晶碳膜生产效率高、薄膜质量好、成本低，对加快燃料电池产业化发展具有重要意义。

主权项

1.一种用于制备燃料电池金属双极板非晶碳膜磁控溅射连续线，其特征在于，包括：多腔室系统：包括依次串联并组成整体的四个腔室：清洗加热腔室(1)、第一镀膜腔室(2)、第二镀膜腔室(3)和后续处理腔室(4)，各个腔室之间相互贯通，其中，清洗加热腔室(1)用于清洗并预加热待处理金属双极板，第一镀膜腔室(2)和第二镀膜腔室(3)用于薄膜沉积，后续处理腔室(4)用于对薄膜沉积后的金属双极板进行后续工艺处理；工件架：包括至少一个用于固定安置待处理金属双极板的金属双极板挂具；传送系统：包括用于将所述工件架依次送入/送出所述腔室的传送机构；抽气系统：包括独立设置在各个腔室的抽气机构，用于控制各个腔室的真空度；可开闭的隔离阀系统：设置在每相邻的两个腔室之间的过渡部分，并与所述腔室密封配合；所述的传送机构包括传送导轨(14)，和带动所述工件架沿传送导轨(14)进/出腔室的动力单元，所述的传送导轨(14)包括带缺口并呈环状的腔室内部导轨(23)，腔室外部导轨(21)，以及使金属双极板挂具沿传送导轨(14)方向在腔室内部导轨(23)和腔室外部导轨(21)之间转移的过渡导轨(22)，其中，过渡导轨(22)转动安装在室内导轨的缺口处，且有两种工作位置：一种为转动至刚好连接腔室内部导轨(23)和腔室外部导轨(21)，另一种为断开与腔室外部导轨(21)的连接，并与腔室内部导轨(23)连接组合成完整环形导轨。