[发明专利]辨识良率损失的根本原因的系统与方法

摘要

本发明实施例提供一种辨识良率损失的根本原因的系统与方法。通过双阶段处理过程，以寻找生产线的良率损失的根本原因。在第一阶段中，辨识出可能会引起良率损失的制程机台与其制程机台型式。在第二阶段中，在第一阶段所发现的机台型式中，辨识出可能会引起良率损失的制程参数。在每一个阶段中，可使用两个不同的演算法来产生一信赖指标，以评估其搜寻结果的可靠程度。本发明实施例可于短时间辨识出生产线上的良率损失的根本原因，并可有效地评估搜寻结果的可靠程度。

主权项

1.一种辨识良率损失的根本原因的方法，其特征在于，包含：提供一生产线，该生产线包含多个制程站，每一所述制程站包含多个制程机台，所述多个制程机台分别属于多个制程机台型式，每一所述制程机台包含至少一制程装置，每一该至少一制程装置具有多个制程参数，所述多个制程参数是配置以处理多个工件其中一者；根据多个生产路径分别处理所述多个工件，每一所述生产路径指出在所述多个制程站中的所述多个制程机台的所述制程装置其中一预设装置，用以处理所述多个工件其中一者；对被对应的预设装置处理后的每一所述工件进行量测，以获得对应至所述多个工件的多组线上量测值；对通过该生产线后的每一所述工件进行至少一良率测试，以获得分别对应至所述多个工件的多组最终检查值；根据所述多组最终检查值决定是否遭遇一良率测试失败；以及当遭遇到该良率测试失败时，进行一第一阶段，该第一阶段包含一第一根本原因寻找步骤，该第一根本原因寻找步骤包含：基于一第一演算法来建立一第一搜寻模型，其中该第一演算法为一三阶段正交贪婪演算法、一最小绝对压缩挑选机制演算法、或一提高样本使用率的回归树演算法；以及通过输入所述多个工件的所述多组最终检查值、所述多个工件的所述多组线上量测值和所述多个工件的所述生产路径至该第一搜寻模型中，以从在所述多个制程站的所述多个制程机台的所述制程装置中辨识出可能会造成该良率测试失败的至少一第一关键装置。