[发明专利]一种基于原子力显微镜探针的拉伸测试方法在审

专利信息
申请号: 201610984386.3 申请日: 2016-11-09
公开(公告)号: CN106596260A 公开(公告)日: 2017-04-26
发明(设计)人: 邓飞 申请(专利权)人: 深圳烯湾科技有限公司
主分类号: G01N3/08 分类号: G01N3/08
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)44268 代理人: 刘文求,杨宏
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于原子力显微镜探针的拉伸测试方法,方法包括将原子力显微镜探针固定于Z轴移动平台的顶端,并将纤维增强复合材料放置在样品放置区,将硅晶片固定于样品放置区的一侧;将原子力显微镜探针与纤维增强复合材料接触后通过电子束照射粘接后,再移动X轴移动平台及Y轴移动平台将单根材料拔出;将单根材料与硅晶片触接后通过电子束照射粘接后,再启动电子显微镜的录像,并移动X轴移动平台及Y轴移动平台将单根材料拔断;根据录像中的多帧连续图像获取单根材料被拔断时原子力显微镜探针的位移及其弹性系数,得到单根材料的力学性能、及应力‑应变曲线。本发明实现了对材料的拉伸测试,又可以同时对其力学等性能进行测试。
搜索关键词: 一种 基于 原子 显微镜 探针 拉伸 测试 方法
【主权项】:
一种基于原子力显微镜探针的拉伸测试方法,用于测试纤维增强型复合材料的拉伸性能,其特征在于,所述方法包括以下步骤:S1、将原子力显微镜探针固定于扫描电子显微镜原位检测装置的Z轴移动平台的顶端,并将纤维增强复合材料放置在样品放置区,将硅晶片固定于样品放置区的一侧;其中,扫描电子显微镜原位检测装置包括设置在基座上的Y轴移动平台,设置在Y轴移动平台上的X轴移动平台,及设置在基座上的Z轴移动平台,所述样品放置区设置在X轴移动平台顶端的近Z轴移动平台端;S2、移动扫描电子显微镜原位检测装置的X轴移动平台及Y轴移动平台,将原子力显微镜探针与纤维增强复合材料接触后通过电子束照射粘接后,再移动X轴移动平台及Y轴移动平台将纤维增强复合材料中的单根材料拔出;S3、移动扫描电子显微镜原位检测装置的X轴移动平台及Y轴移动平台,将单根材料与硅晶片触接后通过电子束照射粘接后,再启动电子显微镜的录像,并移动X轴移动平台及Y轴移动平台将单根材料拔断;S4、根据录像中的多帧连续图像获取单根材料被拔断时原子力显微镜探针的位移,及原子力显微镜探针的弹性系数,得到单根材料的力学性能、及应力‑应变曲线。
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