[发明专利]监控不同层金属层间隔离性能的测试结构及测试方法在审
| 申请号： | 201610984922.X | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN106328630A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 马杰 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/60 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种监控不同层金属层间隔离性能的测试结构及测试方法。本发明的监控不同层金属层间隔离性能的测试结构包括：第一测试端、与第一测试端连接的第一测试金属线、与第一测试金属线的至少一部分并行连接的冗余金属线、第二测试端、以及与第二测试端连接的第二测试金属线；其中，第二测试金属线包括与冗余金属线垂直布置的多条并行金属线；其中，第一测试金属线和冗余金属线处于第一金属布线层，第二测试金属线处于第二金属布线层，而且第一金属布线层和第二金属布线层是相邻金属布线层。 | ||
| 搜索关键词： | 监控 不同 金属 间隔 性能 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种监控不同层金属层间隔离性能的测试结构，其特征在于包括：第一测试端、与第一测试端连接的第一测试金属线、与第一测试金属线的至少一部分并行连接的冗余金属线、第二测试端、以及与第二测试端连接的第二测试金属线；其中，第二测试金属线包括与冗余金属线垂直布置的多条并行金属线；其中，第一测试金属线和冗余金属线处于第一金属布线层，第二测试金属线处于第二金属布线层，而且第一金属布线层和第二金属布线层是相邻金属布线层。
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