[发明专利]一种电阻量测探头有效
| 申请号： | 201610985424.7 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN106443188B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 刘纪伟;张伟光 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R31/26;G01R1/067;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体测试设备领域，尤其涉及一种电阻量测探头，包括：探头外壳，连接电阻量测设备，用以测量晶圆电阻；探针，设置于所述探头外壳底部，用以连接所述晶圆；垫片，设置于所述探头外壳底部，用以限制所述探针扎入所述晶圆的深度。本发明电阻量测探头在探头上加装垫片，结构简单，能够防止短路的产生接触，避免金属探头与晶圆，保证晶圆测量结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电阻 测探 | ||
【主权项】：
一种电阻量测探头，其特征在于，包括：探头外壳，连接电阻量测设备，用以测量晶圆电阻；探针，设置于所述探头外壳底部，用以连接所述晶圆；垫片，设置于所述探头外壳底部，用以限制所述探针扎入所述晶圆的深度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉新芯集成电路制造有限公司，未经武汉新芯集成电路制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610985424.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
