[发明专利]一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法有效

专利信息
申请号: 201610986306.8 申请日: 2016-11-09
公开(公告)号: CN106568812B 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 王海容;姚宇清;陈晓伟;吴桂珊;王久洪;李长青;田汨龙;吴昌龙;段滨 申请(专利权)人: 西安交通大学;上海礽芯生物科技有限公司
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 徐文权
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法,分别将盐酸溶液和钛酸四丁酯混合,然后加入油酸溶液,进行水热反应后,对产物反复进行清洗,干燥,退火,即得到纳米TiO2粉末;所得的纳米TiO2粉末与有机溶剂超声混合,得到乳白色的TiO2悬浮液;将所得的悬浮液均匀地喷涂在传感器芯片电极位置表面,然后将传感器芯片按照阶梯加热方式,退火;将传感器芯片焊接至TO管底座,将所得气敏元件置于密封气室中,对加热电极进行老化,即构建一种对Isoprene气体具有响应的气体传感器。该方法解决MEMS工艺和纳米技术不兼容的问题,制备方法简单可靠;可检测不同浓度的Isoprene气体,重复性好,响应快。
搜索关键词: 一种 用于 异戊二烯 气体 检测 传感器 制备 方法
【主权项】:
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