[发明专利]抗环境振动影响的微机械陀螺仪有效
| 申请号： | 201610986332.0 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN106525017B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 刘亚婷 | 申请（专利权）人： | 沈丹 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 610100 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗环境振动影响的微机械陀螺仪，包括第一结构、第二结构和耦合梁，第一结构和第二结构通过耦合梁连接且关于耦合梁对称，耦合梁仅允许第一结构和第二结构反向运动；第一结构包括第一框架、第一驱动质量块、第二驱动质量块、第一驱动耦合梁、第一梳齿驱动电极、第一梳齿检测电极、第一支撑梁和第二支撑梁；第二结构包括第二框架、第三驱动质量块、第四驱动质量块、第二驱动耦合梁、第二梳齿驱动电极、第二梳齿检测电极、第三支撑梁和第四支撑梁。本发明微机械陀螺仪可抑制线振动和角振动的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 环境 振动 影响 微机 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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