[发明专利]一种可探知晶圆滑动的机械臂装置有效
| 申请号： | 201610986671.9 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN106426209B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 陈智 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种可探知晶圆滑动的机械臂装置，包括：机械臂，其前端设置有吸气孔区域；晶圆滑动感应装置，设置于所述机械臂上，并位于所述吸气孔区域后段；光电信号转换装置，设置于所述机械臂上，并连接于所述晶圆滑动感应装置。当晶圆被吸附在机械臂上时，由于机械阻挡或重力等因素可能造成晶圆的滑动，此时易在晶圆背面造成划痕使晶圆受损甚至报废。本发明提出一种可探知晶圆滑动的机械臂装置，能在晶圆滑动开始时及时发现从而报警，使机械臂立即停止运动，从而避免造成更长距离或更多片晶圆的划伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探知 圆滑 机械 装置 | ||
【主权项】：
1.一种可探知晶圆滑动的机械臂装置，其特征在于，包括：机械臂，其前端设置有吸气孔区域；晶圆滑动感应装置，设置于所述机械臂上，并位于所述吸气孔区域后段；光电信号转换装置，设置于所述机械臂上，并连接于所述晶圆滑动感应装置；所述晶圆滑动感应装置设置于机械臂上的开孔中，开孔部分的机械臂内部中空；所述晶圆滑动感应装置包括橡胶球，橡胶球部分露出于所述开孔，使橡胶球能够与晶圆紧贴；所述晶圆滑动感应装置还包括X方向转轴和Y方向转轴，分别在X轴方向和Y轴方向紧贴所述橡胶球；所述X方向转轴的末端直接连接X轴有孔转盘，所述Y方向转轴的末端通过皮带连接Y轴有孔转盘；所述光电信号转换装置包括光源和光电转换接收器，分别设置于所述X轴有孔转盘和Y轴有孔转盘两侧。
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