[发明专利]压电传感装置和方法有效
| 申请号： | 201610986716.2 | 申请日： | 2011-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN106525293B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | Z·包;S·曼斯菲德;J·洛克林;B·C-K·蒂 | 申请（专利权）人： | 小利兰·斯坦福大学托管委员会 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84;G01L1/14 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 姬利永 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供传感器、传感装置和设备以及相关方法。根据一个示例实施例，一种基于阻抗的传感器，包括柔性介电材料并基于施加至该介电材料的压力所引起的压缩而生成输出。在特定实施例中，介电材料包括由间隙隔开的多个区域，并配置成响应于施加的压力而弹性地形变和恢复。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 传感 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电传感装置，包括：/n介电结构，包括由间隔区域相互隔开的多个弹性区域，所述弹性区域中的每一个被配置和排列成响应于低于1kPa的施加的压力或低于1kPa的施加的压力的变化而压缩，并由此表现出对应于所述弹性体区域的压缩状态的改变的介电常数；以及/n传感电路，包括基于阻抗的传感器，所述基于阻抗的传感器包括所述介电结构的一部分并具有在所述压缩状态之前由所述介电结构的所述部分分开小于100um的距离的相对电极，并被配置和排列成通过提供施加至所述基于阻抗的传感器的相对电极之间的所述介电结构的所述部分的低于1kPa的压力或低于1kPa的施加的压力的变化的指示而响应于所述改变的介电常数。/n
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