[发明专利]非球面元件面形检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 201610991721.2 | 申请日： | 2016-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN106441154A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张文龙;苗亮;刘钰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种非球面元件面形检测装置，依次包括：干涉仪、环形平晶、调平垫圈、零位补偿器和待测镜面安装座，所述干涉仪的光轴方向与所述零位补偿器的光轴方向平行。本发明还提供了一种非球面元件面形检测的方法。本发明提供的非球面元件面形检测装置及方法有效地减小了非球面元件面形检测误差，提高了零位补偿法检测非球面的测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 球面 元件 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种非球面元件面形检测装置，其特征在于，依次包括：干涉仪、环形平晶、调平垫圈、零位补偿器和待测镜面安装座，所述干涉仪的光轴方向与所述零位补偿器的光轴方向平行。
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