[发明专利]一种单晶炉连续拉晶多次加料机构

摘要

本发明提供了一种单晶炉连续拉晶多次加料机构，其包括平移设备、装料设备与提升设备；装料设备设置于平移设备；提升设备固定设置于装料设备；装料设备设置装料内筒，提升设备设置提升机构，提升机构与装料内筒连接；装料设备设置装料口，装料口与装料内筒连通；装料设备下方设置输出结构，输出结构与装料内筒连通。本发明实现了单晶体生长过程中的二次加料过程，确保在安全可靠的条件下的二次加料，还利用提升设备，尽可能地减少在二次加料过程中对原料的污染，可以在前面一炉晶体生产完毕后，不降温停炉的情况下，进行第二炉多晶硅原料装料过程，从而有效地降低晶体生长过程中的电能的消耗，节约成本，提升效率。

主权项

1.一种单晶炉连续拉晶多次加料机构，其特征在于，包括平移设备、装料设备与提升设备；/n所述装料设备设置于所述平移设备，所述平移设备用于带动所述装料设备平移；/n所述提升设备固定设置于所述装料设备；/n所述装料设备设置装料内筒，所述提升设备设置提升机构，所述提升机构与所述装料内筒连接，用于控制所述装料内筒上下移动；/n所述装料设备设置装料口，所述装料口与所述装料内筒连通，用于装入多晶硅原料到所述装料内筒；/n所述装料设备还设置装料外筒，所述装料内筒设置于所述装料外筒内部；/n所述装料口穿设于所述装料外筒的壁部；/n所述装料外筒的底部设置输出结构，所述输出结构与所述装料内筒连通，所述输出结构用于输出所述多晶硅原料；/n所述装料内筒包括锥形阀、石英下筒、石英上筒与石英盖；/n所述石英盖与所述石英上筒连接，所述石英下筒部分套接于所述石英上筒内部，所述石英下筒设置相连通的筒腔、限位区与输出腔，所述筒腔连通所述石英上筒内部；/n所述锥形阀至少部分设置于所述输出腔中，所述输出腔的底部连通所述输出结构，所述输出腔的顶部连通所述限位区，所述锥形阀用于在受力时相对于所述限位区上下移动以开关所述限位区使所述筒腔与所述输出腔相通断；/n所述提升设备还设置提升机支座，所述提升机支座固定设置于所述装料外筒的顶部；/n所述提升机构包括提升机与石英提升杆；/n所述提升机固定设置于所述提升机支座，所述石英提升杆穿设于所述装料外筒的顶部，所述石英提升杆的第一端与所述提升机连接，所述石英提升杆的第二端与所述锥形阀连接，所述石英提升杆用于受所述提升机控制向上移动，以带动所述锥形阀上移；/n所述装料外筒的壁部的内部设置限位机构，所述限位机构用于限制所述石英上筒在所述装料外筒内部的高度位置；所述高度位置包括上筒高度位置与下筒高度位置，所述限位机构包括与所述上筒高度位置相对应的第一限位块、以及与所述下筒高度位置相对应的第二限位块，所述第一限位块用于使所述石英上筒向下移动时限制在所述装料外筒内部的所述上筒高度位置，所述第二限位块用于使所述石英下筒向下移动时限制在所述装料外筒内部的所述下筒高度位置。/n