[发明专利]一种低压扩散炉尾气处理装置有效

专利信息
申请号: 201610993154.4 申请日: 2016-11-11
公开(公告)号: CN106563338B 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 赵志然;张宝锋;禹庆荣;曹骞;黄志海 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: B01D53/18 分类号: B01D53/18;B01D53/26
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 周长清;徐好
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种低压扩散炉尾气处理装置,包括冷却腔、吸收过滤腔、除湿腔及尾气导管,所述冷却腔内盛有用于液化或凝固尾气中的偏磷酸和五氧化二磷的冷却液,所述吸收过滤腔内盛有用于吸收尾气中的五氧化二磷、三氯化磷和偏磷酸的吸收液,所述除湿腔内盛有用于吸收尾气中的三氯化磷、偏磷酸和水蒸气的吸收剂,所述尾气导管一端与低压扩散炉的尾气管连接,另一端穿过所述冷却腔并延伸至所述吸收过滤腔内,所述除湿腔的进气管穿过所述冷却腔并延伸至所述吸收过滤腔内。本发明具有结构简单、成本低、可有效净化尾气、提高设备使用寿命等优点。
搜索关键词: 一种 低压 扩散 尾气 处理 装置
【主权项】:
1.一种低压扩散炉尾气处理装置,其特征在于:包括冷却腔(1)、吸收过滤腔(2)、除湿腔(3)及尾气导管(4),所述冷却腔(1)内盛有用于液化或凝固尾气中的偏磷酸和五氧化二磷的冷却液,所述吸收过滤腔(2)内盛有用于吸收尾气中的五氧化二磷、三氯化磷和偏磷酸的吸收液,所述除湿腔(3)内盛有用于吸收尾气中的三氯化磷、偏磷酸和水蒸气的吸收剂,所述尾气导管(4)一端与低压扩散炉的尾气管连接,另一端穿过所述冷却腔(1)并延伸至所述吸收过滤腔(2)内,所述除湿腔(3)的进气管(31)穿过所述冷却腔(1)并延伸至所述吸收过滤腔(2)内。
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