[发明专利]激光用功率传感器有效
| 申请号： | 201610993231.6 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN106706125B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 前田道德 | 申请（专利权）人： | 发那科株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种低成本且针对功率传感器的受光强度具有充分的测定精度的激光用功率传感器。功率传感器具有接收监视光的传感器基板和使被传感器基板接收到的监视光的强度衰减的滤光器。滤光器由激光的透过率为零的材料形成，在照射监视光的照射范围内具有多个贯通开口部。多个开口部的开口面积的总和为滤光器上的监视光的照射范围的面积的50％以上，照射到滤光器的激光中的、通过了开口部的激光被传感器基板直接接收。 | ||
| 搜索关键词： | 功率传感器 滤光器 激光 传感器基板 照射 监视 开口部 贯通开口部 材料形成 强度衰减 直接接收 低成本 透过率 受光 开口 | ||
【主权项】：
1.一种激光用功率传感器，其特征在于，具备：受光构件，其用于接收激光；以及光强度衰减构件，其用于使被所述受光构件接收的激光的强度衰减，其中，所述光强度衰减构件由激光的透过率为零的材料形成，并且在照射所述激光的照射范围内具有多个开口部，所述照射范围内的多个开口部的开口面积的总和为所述照射范围的面积的50％以上，所述受光构件构成为接收照射到所述光强度衰减构件的激光中的、通过了所述光强度衰减构件的所述多个开口部的激光。
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