[发明专利]一种硅片线痕检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种硅片线痕检测装置，包括用于传输硅片至检测工位的传输平台，检测工位的下方设置有旋转平台，旋转平台的上方设置有用于顶升位于检测工位上的待检测硅片的顶升组件，检测工位的上方和下方均设置有一组用于检测硅片线痕的线痕检测组件。本发明的硅片线痕检测装置具有检测精准全面可靠等优点。本发明还相应公开了一种检测方法，步骤为：S01、开始，传输平台将待检测硅片传输至检测工位；S02、顶升组件将待检测硅片顶升而脱离传输平台，然后旋转平台做旋转运动而带动顶升组件上的待检测硅片做旋转运动；同时，线痕检测组件对待检测硅片上的线痕进行检测。本发明的检测方法具有操作简便、检测全面、精准全面等优点。

主权项

1.一种硅片线痕检测装置，其特征在于，包括用于传输硅片（6）至检测工位的传输平台（1），所述检测工位的下方设置有旋转平台（2），所述旋转平台（2）的上方设置有用于顶升位于所述检测工位上的待检测硅片（6）的顶升组件（3），所述检测工位的上方和下方均设置有一组用于检测硅片（6）线痕的线痕检测组件（4）；/n各组线痕检测组件（4）均包括两个线痕检测探头（41），两个线痕检测探头（41）分别位于所述待检测硅片（6）的左右两侧；/n每组线痕检测组件（4）中的两个线痕检测探头（41）相互垂直布置以使两检测方向相互垂直。/n