[发明专利]掩模板及其制作方法、有机发光二极管显示器的制作方法在审
| 申请号： | 201610994601.8 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN106435473A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张粲;陈小川 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 焦玉恒;王小会 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种掩模板及其制作方法、有机发光二极管显示器的制作方法。该掩模板，包括掩模板基板以及贯穿掩模板基板的多个开口，掩模板的材料为单晶硅。单晶硅材质的掩模板可被配置来制作微型有机发光二极管器件的至少一个层，可制作可发不同颜色的光的微型有机发光二极管器件，从而实现全彩显示。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 及其 制作方法 有机 发光二极管 显示器 | ||
【主权项】：
一种掩模板，包括掩模板基板以及贯穿所述掩模板基板的多个开口，其中，所述掩模板的材料为单晶硅。
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