[发明专利]加热器模块、薄膜沉积装置及方法

摘要

本发明涉及一种加热器模块、薄膜沉积装置及方法。加热器模块应用于一薄膜沉积装置。加热器模块包括一气体混合室、一反应室以及一加热器。气体混合室包括至少一个气体分散板及一挡板，挡板设置于气体分散板上方。反应室设置于气体混合室下游(downstream)，并与气体混合室相连通。加热器邻设于气体混合室。本发明的加热器模块、薄膜沉积装置及方法可达成制备高质量薄膜的功效。

主权项

1.一种加热器模块，应用于薄膜沉积装置，该加热器模块包括：气体混合室，包括至少一个气体分散板及一挡板，该挡板设置于该气体分散板上方；反应室，设置于所述气体混合室下游，并与所述气体混合室相连通；以及加热器，与所述气体混合室相邻设置。