[发明专利]一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法

摘要

本发明公开了一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法。该真空互联系统包括材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台，其中，所述互联平台包括管道设备、中续设备、传输设备、真空获得设备、输入输出设备和控制设备；所述材料生长平台和器件工艺平台用于器件的加工，所述测试分析平台用于材料的生长和性质的测量与分析，所述材料生长平台、器件工艺平台和测试分析平台通过所述互联平台互相连接。本发明能够使材料的生长、测试和加工等工序均在真空环境中进行，为材料研究和器件研发提供好的真空环境，建立真空环境下从材料、器件、封装到测试的综合研究设施，提供多种极端条件下材料、结构和性能关系的科学研究平台。

主权项

1.一种用于纳米材料实验的真空互联系统，其特征在于，包括：材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台；其中，所述材料生长平台和器件工艺平台用于材料或器件的加工，所述测试分析平台用于材料的生长和性质的测量与分析，所述材料生长平台、器件工艺平台和测试分析平台通过所述互联平台互相连接；其中，所述互联平台包括管道设备、中续设备、传输设备、真空获得设备、输入输出设备和控制设备；所述管道设备通过所述中续设备进行连接；所述传输设备驱动所述管道设备中的物体移动；所述真空获得设备和所述管道设备连接，用于向所述管道设备提供真空环境；所述输入输出设备设置在所述互联平台与其他平台的连接处，用于材料在所述互联平台和其他平台之间的输入输出；所述控制设备与所述中续设备、传输设备、真空获得设备以及输入输出设备连接，用于对所述中续设备、传输设备、真空获得设备以及输入输出设备进行运行控制。