[发明专利]透明导电膜与制备方法、溅射靶与透明导电性基板及太阳能电池

摘要

本发明公开一种透明导电膜与制备方法、溅射靶与透明导电性基板及太阳能电池，利用高密度掺钛氧化锌靶材与磁控溅射工艺技术制作透明导电薄膜，该透明导电膜中锌原子所占份数为98 at%～99 at%，钛原子所占份数为1 at%～2 at%。本发明提供的透明导电膜具有优良的光电特性，电阻率低于1x10‑3Ω·cm，当透明导电膜厚度为1000nm时，在近红外光区(800‑1300 nm)平均透过率不低于80%，可广泛应用于太阳能电池、显示屏、触屏面板、发光二极管等领域。

主权项

一种透明导电膜，其特征在于，所述透明导电膜包含锌元素、氧元素，以及钛元素，所述透明导电膜中锌原子所占的份数为98 at%～99 at%，所述钛原子所占的份数为1 at%～2 at%。