[发明专利]一种大量程位移传感器校准装置和校准方法

摘要

本发明公开了大量程位移传感器校准装置和校准方法，包括升降固定台、三维微调台、步进控制台、电源、控制器和上位机；步进控制台包括基座、光栅尺位移传感器、步进螺杆、步进导轨、步进固定台和步进电机，步进电机固定在基座的一端，步进导轨安装在基座的上面，步进螺杆的两端安装在基座的上面且步进螺杆与步进导轨平行，步进电机与步进螺杆连接，步进螺杆与步进固定台连接，步进固定台位于步进螺杆的上面，步进固定台与步进导轨滑动连接，升降固定台固定在基座的另一端，三维微调台固定在步进固定台上，三维微调台的侧面连接有靶标且所述靶标面向传感器固定支架夹持的被测传感器；本发明符合多类型位移传感器的校准，校准结果准确，功能齐全。

主权项

一种大量程位移传感器校准装置，其特征在于：包括升降固定台、三维微调台、步进控制台、电源、控制器和上位机；所述步进控制台包括基座、光栅尺位移传感器、步进螺杆、步进导轨、步进固定台和步进电机，所述步进电机固定在基座的一端，所述步进导轨安装在基座的上面，所述步进螺杆的两端通过T型轴承座安装在基座的上面且所述步进螺杆与步进导轨平行，所述步进电机与步进螺杆连接且所述步进电机用于带动步进螺杆旋转，所述步进螺杆与步进固定台连接且所述步进螺杆用于带动步进固定台水平移动，所述步进固定台位于所述步进螺杆的上面，所述步进固定台与所述步进导轨滑动连接且所述步进固定台位于步进导轨的上面，所述光栅尺位移传感器包括标尺光栅和光栅读数头，所述标尺光栅固定在基座上且与所述步进导轨平行，所述光栅读数头固定在所述步进固定台上；所述升降固定台固定在基座的另一端，所述升降固定台包括升降旋钮、垂直升降台和传感器固定支架，所述升降旋钮安装在垂直升降台的侧面且用于调节垂直升降台的高度，所述传感器固定支架固定在所述垂直升降台的上面且所述传感器固定支架用于夹持被测传感器；所述三维微调台固定在所述步进固定台上，所述三维微调台的侧面连接有靶标且所述靶标面向所述传感器固定支架夹持的被测传感器；所述电源分别与控制器、上位机、步进电机、光栅尺位移传感器和被测传感器电连接，所述上位机与所述控制器电连接，所述控制器与所述步进电机电连接，所述光栅尺位移传感器与所述控制器电连接，所述被测传感器与所述控制器电连接。