[发明专利]逐级吸附提纯氨气的装置及利用该装置提纯氨气的方法

摘要

本发明公开了一种逐级吸附提纯氨气的装置及利用该装置提纯氨气的方法，包括一号吸附柱、二号吸附柱、三号吸附柱、四号吸附柱、五号吸附柱、六号吸附柱，可以将较低纯度的氨气（99.8%）通过多级吸附提纯到高纯度甚至更高纯度（99.999%‑99.9995%）的氨气。原料氨气经过不同类型的串联型的吸附柱内填充料进行逐级吸附之后，去除了原料氨气中的相关有害杂质含量，杂质含量包括大量的油脂、水份、氧、氮、二氧化碳、硫化物、颗粒等有害杂质。去除完后最终达到了高纯度的氨气，进而可满足大阳能行业中为氮化硅薄膜提供氮源、以及集成电路制造、化合物半导体、液晶显示器及更好地为清洗硅片而提供洁净的工艺气体氨气，为更高纯度的氨气的提纯提供非常好的工艺基础。

主权项

一种逐级吸附提纯氨气的装置，其特征在于：包括一号吸附柱、二号吸附柱、三号吸附柱、四号吸附柱、五号吸附柱、六号吸附柱；所述一号吸附柱分别与二号吸附柱、三号吸附柱、四号吸附柱连通；所述二号吸附柱分别与三号吸附柱、四号吸附柱连通；所述三号吸附柱分别与四号吸附柱、五号吸附柱、六号吸附柱连通；所述四号吸附柱分别与五号吸附柱、六号吸附柱连通；所述五号吸附柱与六号吸附柱连通；所述一号吸附柱包括一号吸附柱壳体以及位于一号吸附柱壳体内的多孔陶瓷吸附装置；所述二号吸附柱包括二号吸附柱壳体以及位于二号吸附柱壳体内的多孔陶瓷吸附装置；所述三号吸附柱包括三号吸附柱壳体以及位于三号吸附柱壳体内的第一分子筛；所述四号吸附柱包括四号吸附柱壳体以及位于四号吸附柱壳体内的第二分子筛；所述五号吸附柱包括五号吸附柱壳体以及位于五号吸附柱壳体内的第三分子筛；所述六号吸附柱包括六号吸附柱壳体以及位于六号吸附柱壳体内的第四分子筛；所述一号吸附柱、二号吸附柱分别接有原料氨气进管；所述五号吸附柱、六号吸附柱分别接有高纯氨气出管；各个吸附柱分别设有排污口、再生氨气入口以及热氮入口；所述第一分子筛的孔径大于等于所述第二分子筛的孔径；所述第二分子筛的孔径大于所述第三分子筛的孔径；所述第三分子筛的孔径大于等于所述第四分子筛的孔径。