[发明专利]柔性TFT基板及其制作方法

摘要

本发明提供一种柔性TFT基板及其制作方法。本发明的柔性TFT基板的制作方法，首先在刚性基板上依次形成柔性衬底与第一有机层，并且在所述第一有机层上设置数个凹槽，之后将TFT器件制作于所述数个凹槽中，然后在所述第一有机层上形成第二有机层，最后将所述柔性衬底从所述刚性基板上剥离，制得一柔性TFT基板，所述柔性TFT基板中，由于所述第一有机层上设有数个凹槽，从而在所述第一有机层上形成多个凹陷结构与多个凸起结构，使得所述第二有机层与所述第一有机层相互咬合，结合紧密，并且对夹设于二者之间的TFT器件形成保护，防止柔性TFT基板在弯曲过程中出现断线、TFT器件剥落及漏光等问题，提升柔性TFT基板的品质，延长柔性TFT基板的使用寿命。

主权项

1.一种柔性TFT基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供一刚性基板(10)，在所述刚性基板(10)上涂布第一有机材料，形成一柔性衬底(11)；步骤2、在所述柔性衬底(11)上涂布第二有机材料，形成第一有机层(20)，采用半透膜光罩对所述第一有机层(20)进行图形化处理，在所述第一有机层(20)上形成数个第一凹槽(21)、数个第二凹槽(22)、数个第三凹槽(23)、及数个第四凹槽(24)，其中，所述第一凹槽(21)与所述第二凹槽(22)相交叉，所述第三凹槽(23)分别连通至所述第一凹槽(21)与第二凹槽(22)，所述第四凹槽(24)与所述第三凹槽(23)相连通；步骤3、在所述第一凹槽(21)中形成扫描线(31)，同时在所述第三凹槽(23)中形成栅极(32)，所述栅极(32)与所述扫描线(31)相连；在所述扫描线(31)与栅极(32)上形成栅极绝缘层(40)；在所述栅极绝缘层(40)上对应于所述栅极(32)的上方形成有源层(41)；在所述第二凹槽(22)中形成数据线(51)，同时在所述第三凹槽(23)中形成源极(52)与漏极(53)，所述源极(52)与所述数据线(51)相连，所述源极(52)与漏极(53)分别与所述有源层(41)的两侧相接触；在所述数据线(51)、源极(52)、漏极(53)、有源层(41)、及所述第四凹槽(24)的槽底上形成钝化层(60)，所述钝化层(60)上设有对应于所述漏极(53)上方的第一通孔(61)；在所述钝化层(60)上对应于所述第四凹槽(24)的槽底上方的区域形成像素电极(70)，所述像素电极(70)经由所述第一通孔(61)与所述漏极(53)相接触；步骤4、在所述第一有机层(20)上涂布第三有机材料，形成第二有机层(80)；步骤5、将所述柔性衬底(11)从所述刚性基板(10)上剥离，制得一柔性TFT基板(100)；所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)的槽底位于所述第一有机层(20)中或者所述柔性衬底(11)与所述第一有机层(20)相交接的表面上，所述第一凹槽(21)、第二凹槽(22)、第三凹槽(23)及第四凹槽(24)的深度相同或不同。