[发明专利]一种激光振镜装置校正系统和校正方法有效
| 申请号： | 201611006296.3 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN108072972B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 徐晓轩;王斌;赖翔 | 申请（专利权）人： | 英塔赛利环保科技（天津）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 天津市科航尚博专利代理事务所(普通合伙) 12234 | 代理人： | 吴疆 |
| 地址： | 300380 天津市西青区滨海高新区华*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种激光振镜装置校正系统和校正方法，该校正系统包括有激光器(1)；一半透半反镜(5)，其用于将扫描振镜(3)反射的激光进行分光；有两个位置传感器(6a、6b)，分别用于测量扫描振镜(3)在两个轴向方向的转动引起的激光偏转的实际位置；有一中央控制器(4)，该中央控制器(4)接收测量的实际位置与预先设定位置之间的偏差；所述中央控制器(4)的校正信号输出单元根据实际位置与设定位置之间的偏差得出校正值，并且传输给与扫描振镜(3)相连的扫描振镜控制器(2)，以对扫描振镜(3)进行校正。在中央控制器(4)中有一存储器，其存储有各种激光振镜(3)的工作模式，以及各种工作模式所对应的误差经验值；此时只需将该误差经验值叠加在中央控制器(4)输出到扫描振镜控制器的输出信号上，便完成对该系统的第二次快速校正。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 装置 校正 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光振镜装置校正系统，该校正系统包括有激光器(1)，可发射可见激光；一半透半反镜(5)，其用于将扫描振镜(3)反射的激光进行分光；有两个位置传感器(6a、6b)，分别用于测量扫描振镜(3)在两个轴向方向的转动引起的激光偏转的实际位置；有一中央控制器(4)，该中央控制器(4)接收两个位置传感器(6a、6b)测量的实际位置与预先设定位置之间的偏差；所述中央控制器(4)有一校正信号输出单元；该校正信号输出单元根据实际位置与设定位置之间的偏差得出校正值，并且传输给与扫描振镜(3)相连的扫描振镜控制器(2)，以对扫描振镜(3)进行校正。
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