[发明专利]一种用于多晶炉铸锭的化料工艺在审

专利信息
申请号: 201611009813.2 申请日: 2016-11-17
公开(公告)号: CN106435726A 公开(公告)日: 2017-02-22
发明(设计)人: 金国俊;王海庆;路景刚 申请(专利权)人: 江苏美科硅能源有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙)31258 代理人: 吴秀琴
地址: 212000 江苏省镇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开的一种用于多晶炉铸锭的化料工艺,包括多晶炉预热、预加热、升温、熔化4个步骤,其中多晶炉预热分为3个阶段,缩小硅料上部与下部的温差,升温分为4个阶段,缩短了升温过程,本发明的升温、熔化2个步骤较以往工艺相比,其消耗的总时间可耗时缩短了至少1小时,且硅料上部与下部的温差更小,不仅缩短了工艺耗时,提高了生产效率,同时也大大节约了能耗,降低了生产成本。
搜索关键词: 一种 用于 多晶 铸锭 工艺
【主权项】:
一种用于多晶炉铸锭的化料工艺,其特征在于,其工艺过程如下:(1)正常装投料,装投料完成,为缩小硅料上部与下部的温差,需进行多晶炉预热,多晶炉预热分为3个阶段:a阶段,启动多晶炉,并在10min内,逐步提高多晶炉加热器输出功率,直至多晶炉功率达到10KW;b阶段,逐步提高多晶炉加热器输出功率,在10min内,使多晶炉加热器输出功率达到30KW;c阶段,逐步提高多晶炉加热器输出功率,在60min内,使多晶炉加热器输出功率达到60KW;(2)预加热:当多晶炉加热器输出功率达到60KW,保持恒定输出功率,持续130min;(3)升温:步骤(2)完成后,再次逐步提高多晶炉加热器输出功率,直至输出功率达到82KW,并保持恒定输出功率,持续10h,并使多晶炉内温度提高至1550℃,使硅料进入熔化阶段;(4)熔化:熔化阶段持续14h,多晶炉内温度保持在1550℃,直至硅料完全熔化,此时,进入长晶阶段。
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