[发明专利]设有凸块的外延片曝光装置在审
| 申请号： | 201611010317.9 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN106681097A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 姚海林 | 申请（专利权）人： | 东莞唯度电子科技服务有限公司 |
| 主分类号： | G03B27/54 | 分类号： | G03B27/54;G03B27/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市东莞松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种设有凸块的外延片曝光装置，包括影像定准器，影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构，数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯，数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接，影像定准器底部位于一操作平台上，影像定准器与操作平台之间铰接，操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台，云台与操作平台之间固定连接，两云台之间连接有耗能板，耗能板不止一个，耗能板上设有导轨。本设有凸块的外延片曝光装置提高了设备的制动化和智能化程度，使得安全系数大幅度提高，提高了曝光精度，使其线条更加均匀，同时延长了曝光设备的使用寿命，具有良好的调节性。 | ||
| 搜索关键词： | 设有 外延 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种设有凸块的外延片曝光装置，包括影像定准器，其特征在于：影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构，数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯，数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接，影像定准器底部位于一操作平台上，影像定准器与操作平台之间铰接，操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台，云台与操作平台之间固定连接，两云台之间连接有耗能板，耗能板不止一个，耗能板上设有导轨，导轨竖向设置在耗能板上，导轨顶部位于操作平台上，导轨为两个，两导轨之间设有光源，光源固定在两导轨之间，光源上设有激光器；所述操作平台与影像定准器之间设有支撑凸块，支撑凸块由金属材料制成。
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