[发明专利]一种超宽带激光薄膜反射镜

摘要

本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种超宽带激光薄膜反射镜，以及使用该反射镜的全固态钛宝石宽带可调谐激光器。本发明的反射镜基底两面分别由不同的高、低折射率材料交替形成，两面膜层对应不同的中心波长，物理厚度基本相同。本发明采用双面薄膜的方法，合理选择薄膜材料，实现应力匹配设计，通过设计薄膜的结构有助于提高宽带反射率，同时兼顾薄膜应力致面形误差变化的控制。本发明提出一种能够提高660nm‑1200nm波长范围的反射率的超宽带激光薄膜反射镜，可应用于全固态钛宝石宽带可调谐激光器中。

主权项

1.一种超宽带激光薄膜反射镜，其特征在于，所述反射镜包括基底，所述基底的两个表面分别记为A面和B面，所述A面为激光入射工作面；所述A面和所述B面均具有多层反射膜，其中：所述A面的多层反射膜对应的中心波长为λ_a，多层反射膜的膜系结构为：基底/(1H_a 1L_a)^m_a/空气，其中多层反射膜的基本组合为一对高、低折射率薄膜，m_a为所述基本组合的重复次数，H_a和L_a分别代表高、低折射率材料的λ_a/4光学厚度；所述B面的多层反射膜对应的中心波长为λ_b，多层反射膜的膜系结构为：基底/(1H_b 1L_b)^m_b/空气，其中多层反射膜的基本组合为一对高、低折射率薄膜，m_b为所述基本组合的重复次数，H_b和L_b分别代表高、低折射率材料的λ_b/4光学厚度；所述A面的多层反射膜与所述B面的多层反射膜的物理厚度基本相同，即满足以下公式：其中，n_aH(λ_a)、n_aL(λ_a)分别为所述A面的高、低折射率材料在中心波长λ_a处的折射率，n_bH(λ_b)、n_bL(λ_b)分别为所述B面的高、低折射率材料在中心波长λ_b处的折射率。