[发明专利]一种具有新型纳米多层结构的薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201611012186.8 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN106521435B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 白文琦;涂江平;王秀丽;金攻;李瑞玲;李玲玲;谢跃军 | 申请（专利权）人： | 中奥汇成科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/18;A61L27/30;A61L27/06 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;江怀勤 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有新型纳米多层结构的薄膜及其制备方法，纳米多层结构的薄膜由依次沉积在基体上的锆底层及锆‑氮化锆‑碳多层结构构成。其中，锆底层厚度为200‑300nm，可提高薄膜的承载能力及与金属基底的结合力。锆‑氮化锆‑碳多层结构由锆单层、氮化锆单层及非晶碳单层构成，其中“氮化锆单层‑锆单层‑非晶碳单层‑锆单层”组成一个重复单元，多层结构由若干个重复单元构成。多层结构中，锆单层为密排六方结构，氮化锆单层为面心立方结构。纳米多层的薄膜具有高承载能力、高耐腐蚀及高耐磨的特点，并具有良好的生物相容性，在金属关节领域具有应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 新型 纳米 多层 结构 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有新型纳米多层结构的薄膜，其特征在于：包括在金属关节头表面自下而上依次沉积的锆底层及纳米多层结构，所述纳米多层结构为锆‑氮化锆‑碳多层结构；所述纳米多层结构包括多个重复单元，每个所述重复单元自下而上依次包括氮化锆单层、锆单层、非晶碳单层及锆单层。
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