[发明专利]OLED基板及其制作方法

摘要

本发明提供一种OLED基板及其制作方法。本发明的OLED基板的制作方法，通过采用无机物材料制作像素定义层，能够降低光阻剥离制程中像素定义层被误剥离的风险，同时降低蒸镀制程中精细金属掩膜板被污染的风险，提高精细金属掩膜板的使用效率。本发明的OLED基板，采用上述OLED基板的制作方法制备而成，像素定义层结构完整，能够有效保护下方阳极及衬底基板，器件性能好。

主权项

一种OLED基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供一衬底基板(10)，在所述衬底基板(10)上形成间隔设置的数个阳极(20)；在所述衬底基板(10)及数个阳极(20)上沉积一无机膜层(80)；步骤2、采用半色调光罩(85)对所述无机膜层(80)进行图形化处理，得到像素定义层(30)、设于所述像素定义层(30)上的数个间隔物(50)、及设于所述像素定义层(30)上且分别对应于所述数个阳极(20)的数个开口(31)，每个开口(31)暴露出对应的阳极(20)的至少一部分，制得第一基板(91)；步骤3、在所述第一基板(91)上涂布一光阻层(95)，所述光阻层(95)覆盖所述像素定义层(30)、数个间隔物(50)、及阳极(20)；对所述涂布光阻层(95)的第一基板(91)进行切割，得到数个第二基板(92)；步骤4、对所述第二基板(92)上的光阻层(95)进行剥离，得到第三基板(93)；步骤5、在所述第三基板(93)上的数个开口(31)内从下到上依次形成空穴注入层(41)、空穴传输层(42)、有机发光层(43)、电子传输层(44)、电子注入层(45)、及阴极(46)，制得一OLED基板(60)。