[发明专利]彩色滤光片返工方法

摘要

本发明是彩色滤光片返工方法,包括如下工艺步骤：1）对于误判不合格产品NG进行分类后再投入黑色矩阵BM制程；2）对不合格产品NG进行返工Rework工序或重新回到主流程下一制程；3）在PS制程和PS修补制程中可以对误判不合格产品NG在返工暂存区FR01B站点人为进行判定后回到主流程下一制程；4)为了防止有时人为疏忽，误判产品不合格产品NG，设定逻辑流程。本发明的优点：1）解决设备误判返工为不合格产品NG自动进入返工Rework工序，无法直接返回主流程的情况；2）通过人为再次判定，可减少不合格产品NG比率，提高产品良率，降低产品生产成本。

主权项

1.彩色滤光片返工方法，其特征是包括如下工艺步骤：1）在彩色滤光片的第一道黑色矩阵BM、红绿蓝RGB和柱高PS制程后不合格产品需要进行返工Rework工序，对于误判不合格产品进行分类后再投入黑色矩阵BM制程；BM制程Rework优化后的工艺流程，包括：在BM和BM Repair制程，被检查设备判定不合格产品，首先进入虚拟站点FR01B等待；全部为不合格产品，则让该类产品进入BM返工F250R站点，进入返工Rework工序；全部为合格产品，则让该类产品进入Red制程F3000站点，进入Red工序；为混合产品，则让该类产品进入分类Sort工序，分类选出合格产品进入Red制程F3000站点，不合格产品NG进入BM返工F250R站点；2）在红绿蓝RGB的制程和红绿蓝RGB修补制程中的不合格产品不但可以进行返工Rework工序，而且可以对误判不合格产品重新回到主流程下一制程；3）在PS制程和PS修补制程中不合格产品，正常进行返工Rework工序而且可以对误判不合格产品在返工暂存区FR01B站点人为进行判定后回到主流程下一制程。